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中国是能够生产光刻机的,只不过比较落后 。现在国内最先进的就是上海微电子研发的28nm光刻机,世界上最知名的光刻机制造商就是荷兰ASML,现在最先进的光刻机是5nm,两者之间的差距在二十年以上 。
国内确实都在全力研发光刻机,并且有了光刻机的技术是可以用到其他高技术装备上的,比如生产TFT所需的PA机,可以轻而易举将2K分辨率提高至8K甚至10K 。但是,我们也要看到光刻机里所需的部件,尤其是两个核心部件光栅和EUV高压曝光灯目前是依靠进口的,其中光栅来自美国 。高压灯应该来自德国,而且是个耗材,每2000小时需要更换 。一旦人家停止供应,我们的光刻机就会变成一堆废铁 。
在半导体装备上,我们缺的东西太多,大家绝不要以为这是靠几年时间,花几千个亿就可以完成全部国产化的 。比如我们常说5纳米、7纳米,事实是纳米的量具我们都是依赖进口,没有量具,就没法调试透镜的研磨机(又是进口的),也没法测量透镜的加工精度 。如果我国可以完全自主生产光刻机,掌握全部的核心部件生产,那意味着我们的工业水平已经超过了美日欧,这需要几十年,投资不是以亿计,而是以兆计 。
【光刻机中国能造吗?】
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