2022中国光刻机现在多少纳米

二零二零年对于中国半导体行业来说,是砥砺前行的一年,因为美国一纸禁令,必须使用EUV光刻机的华为五纳米芯片,麒麟九零零零无法生产,让很多国人既气愤又无奈 。
可以说,每一位关心中国科技发展的小伙伴都在问,到底什么时候,我们国产光刻机能够问世,到底什么时候,我们自己的光刻机能给华为代加工高端芯片?今天我们就来聊聊这个话题,做一个关于国产光刻机的小盘点,来梳理一下国产光刻机的发展现状 。
今天我们先以问答的形式来进行,具体如下:
答案是有,生产企业是上海微电子 。
我们在上海微电子官网可以看到,二零一八年三月,上海微电子的九零nm光刻机项目通过正式验收 。也就是说,我们的国产光刻机目前可以做到九零纳米工艺 。
之前有网友爆料,上海微电子将于二零二零年一二月下线首台采用ArF光源的SSA八零零/一零W光刻机,这是一台国产浸没式 DUV 光刻机,可实现单次曝光二八nm节点 。所以网络里一直流传着这个说法 。不过对于此消息,有人说是真的,有人说是假的 。让人很是迷煳 。
为此,我特意进行了求证 。那么求证的过程中,我发现这样一条信息,或许可以说明一些情况 。
它是一篇来自江苏省开发区协会曾经发布的文章,标题为:科益虹源集成电路光刻光源制造及服务基地项目开工 。文章里提到,到二零二零年产品将与整机单位共同完成二八nm国产光刻机的集成工作 。
也就是说,科益虹源的准分子激光器将会配套到上海微电子的光刻机中,而这台计划中的光刻机可以实现二八纳米工艺 。
因为发布渠道的属性,我们基本上可以肯定,可以实现二八纳米工艺的国产光刻机确有其事,并且原计划是二零二零年下线 。
不过,不知道是什么原因,官网的这篇文章已经被删除 。但可以在天眼查里科益虹源的相关页面中看到,系统抓取留存的这条信息 。
另外,现在已经进入二零二一年,是否按照计划完成了二八纳米光刻机?我们在上海微电子官网或者其他官方网站都没有查到相关信息 。
还有二则报道:
一个是方正证券去年发布的相关信息例显示,国家 零二 专项光刻机项目二期拟于 二零二零 年 一二 月验收由上海微电子设计集成的 一九三nm ArF 浸没式 DUV 光刻机 。
二是知名媒体DIGITIMES曾报道,上海微电子有望在二零二一年四季度交付第二代深紫外光(DUV)光刻机,该设备可实现二八纳米工艺 。
所以,基本上可以做实,上海微电子的确在做可以实现二八纳米制程的国产DUV光刻机 。只是是否通过验收,到底何时能交付,目前未知 。
二八纳米将会是我们国产光刻机的最高工艺水平,严格来说,这个真的算不上高水平,它的前面还有一四、七、五、三、二,甚至是一nm 。
但是二八纳米是成熟工艺,生产成本低,只要不追求极致性能的情况下,这种制程的芯片,其性能也够用的,用来生产我们日常生活中的电子设备是没有问题的,例如电视、电视盒子、音响、电梯、空调、微波炉、冰箱、汽车等等 。
或者你可以这样理解,在小型设备中,需要更低制程的芯片,例如手机,因为空间有限,想要实现更好的性能,芯片就需要更加先进的生产工艺 。
另外,根据研究机构IC Insights发布的《二零二零-二零二四年全球晶圆产能》报告,预计到二零二四年,半导体制程格局将出现一零nm以下,一零-二零nm,二零nm以上工艺三分天下的格局,各自市场占有率约为一/三,而二八nm以上的成熟工艺在未来四年的市场份额没有明显变化,仍然有很大的市场 。

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