1.硅的气态氢化物是硅烷；
【硅的气态氢化物是什么？】2.硅烷是一系列化合物的总称，包括甲硅烷、乙硅烷和一些较高级的氢化硅烷基化合物 。目前应用最广泛的是甲硅烷 。一般来说，甲硅烷简称硅烷 。硅烷作为提供硅成分的气体源，可用于制造高纯多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅和各种金属硅化物 。由于纯度高，控制精细，成为许多其他硅源无法替代的重要特种气体 。硅烷广泛应用于微电子和光电子行业，用于制造太阳能电池、平板显示器、玻璃和钢铁涂层，是世界上唯一大规模生产粒状高纯硅的中间产品 。
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