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自制去离子水的方法是自来水先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质 。然后高压通过反渗透膜 。最后一般还要经过紫外杀菌以去除水中的微生物 。假如此时电阻率还没有达到要求的话 ， 可以再进行一次离子交换过程最高电阻率可达到18兆 。相对而言 ， 蒸馏水只是先气化再冷凝 ， 其纯度如电阻率一般不如纯度高的去离子水 ， 半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水 。
【如何自制去离子水】
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