12月21日 , 据参考消息网报道:荷兰公司ASML目前是欧洲市值最高的技术企业 , 预计在2022年底 , 该公司市场价值将达5000亿美元 。ASML从无名小卒到垄断全球 , 靠光刻机就吸金373亿 。
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2020年全球缺芯潮爆发后 , ASML的热度瞬间攀升 。很多人都在疑惑:身为世界第一的光刻机制造商 , 为何是来自荷兰 , 而不是芯片大国美国呢? 为什么美国都没能超过荷兰ASML?
一、为啥荷兰ASML能成为光刻机全球巨头?时运所济
毫无疑问 , 光刻机这种东西需要全世界的尖端技术 , 而荷兰企业能成为这一产品的绝对巨头是时运所济的 。
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- 从上图中 , 我们就可以看到 , 想要研发生产光刻机 , 一般都需要两个基础:顶级的光源和镜头 。那么欧洲、美国和日本都有研发光刻机的基础 , 直到今天 , 能给EUV提供镜头的企业也只有蔡司 , 以及美国光源能达到EUV的要求 。
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- 后来日本厂商 , 因为技术原因衰败 , 光刻机技术就成为了三大玩家暗中博弈的舞台 。
一直以来 , 英特尔都是新制程最有力的推动者 , 毕竟人家有钱 。7nm之前的每一个重大节点都是英特尔先弄出来的 , 没有英特尔 , ASML不会有今天这种盛况 。
- 从ASML发展上来看 , 光刻机已经是一个全产业链深度参与的行业 , 光有钱是不行的 。如今我们如果想发展光刻机 , 那也必须让光刻机生产企业与镜头、光源和晶圆厂紧密结合起来 。
我有幸参观过中芯国际的工厂 , 见到过光刻机 。只不过不是最先进的那种 。其实ASML的EUV光刻机整合了各个领域的最尖端技术 , 比如光学领域最强-德国蔡司的光学组件 , 美国的掩罩技术龙头Silicon Valley Group和紫外光源龙头Cymer等 。
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那么 , 正常来说 , EUV光刻机究竟制造有多难呢?我们通过列出一组数据来看看 。
单台光刻机的设备售价一般都是超过1.5亿欧元 。
一台光刻机的设备超过100000个零件 , 以及3000多条线路 。
光刻机拥有13个子系统 , 单台设备整体重量高达180吨 , 运输时需要装满40个货柜 。
同时 , 10多面精度要求异常苛刻的反射镜 , 精度以皮米计 , 用蔡司的话说就是这可能是宇宙中最光滑的结构 。
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另外 , 为了产生波长13.5nm超短波长的光 , 需要持续用20kw的激光轰击从空中掉落的金属锡液滴 , 液滴直径只有20微米 , 而且同一个液滴需要极端时间内连续轰击两次才能产生足够强度的极紫外光 。为了保证光的持续性 , 每秒要轰击5万次 。
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