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1、硅的气态氢化物为硅烷；
【硅的气态氢化物是什么】2、硅烷是一系列化合物的总称，包括甲硅烷 、乙硅烷和一些更高级的硅氢化合物 。目前应用最多的是甲硅烷 。一般把甲硅烷简称做硅烷 。硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物 。因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体 。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层，并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物 。
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